Deposition Tool 8 Inch
Auftraggeber: Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM · Garching
Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM hat einen Auftrag für Labor- und Messtechnik in Garching ausgeschrieben. Die Angebotsfrist endete am 05.10.2026. Ergebnis noch nicht veröffentlicht.
Die Angebote werden geprüft. Das Ergebnis ist noch nicht veröffentlicht. Sobald es erscheint, steht es hier.
Wer folgt, bekommt morgens eine E-Mail, sobald ein Ergebnis oder eine Änderung veröffentlicht ist.
Angaben in Kürze
Aus den Feldern, ohne KI- Was
- Labor- und Messtechnik: Deposition Tool 8 Inch
- Wo
- Garching, Landkreis München, Bayern
- Bis wann
- Angebotsfrist 05.10.2026, 12:00 Uhr
- Wer kann anbieten
- Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 21.08.2026, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden
Leistungsumfang
Beschreibung laut BekanntmachungThe Technical University of Munich - Chair of Technical Physics E23/WMI will acquire a UHV cluster System for the fabrication of superconducting circuits on 8 inch'' wafers. The system must provide UHV conditions and has to include an HV load-lock chamber, a central handling chamber, a UHV chamber for the evaporation of Al thin films, a UHV chamber for sputtering of superconductors, a UHV chamber for oxidation, a UHV chamber for Ar ion milling, and a flipping station. The system must allow metalizing both sides of the wafers in situ, with minimal backside particle contamination. The wafers should only be touched on the side (edge gripping).
Erfüllungsort
- Ort
- 85748 Garching
- Kreis
- Landkreis München
- Bundesland
- Bayern
- NUTS
- DE21H
Verlauf
- 21.08.2026 Ausschreibung veröffentlicht
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