Plasma Ashing System
Auftraggeber: Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften · Garching
Walther-Meissner-Institut der Bayerischen Akademie der Wissenschaften hat einen Auftrag für Labor- und Messtechnik in Garching ausgeschrieben. Die Angebotsfrist endete am 11.07.2025. Bisher kein Ergebnis gefunden.
Wir haben bisher kein Ergebnis zu diesem Verfahren gefunden. Auskunft gibt die Vergabestelle.
Wer folgt, bekommt morgens eine E-Mail, sobald ein Ergebnis oder eine Änderung veröffentlicht ist.
Angaben in Kürze
Aus den Feldern, ohne KI- Was
- Labor- und Messtechnik: Plasma Ashing System
- Wo
- Garching, Landkreis München, Bayern
- Bis wann
- Angebotsfrist 11.07.2025, 12:00 Uhr
- Wer kann anbieten
- Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 25.10.2026, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden
Leistungsumfang
Beschreibung laut BekanntmachungThe Walther-Meissner-Institute (WMI) will acquire a plasma ashing system for the fabrication of integrated quantum circuits. The system should be capable of ashing and descumming of photo resist on 200 mm wafers with high uniformity. The plasma ashing system shall be turnkey ready, i.e., fully equipped with all necessary components, control electronics, and software. The system shall be ready for automated operation, i.e., the hardware components have to be equipped with appropriate interfaces for computer connection.
Erfüllungsort
- Ort
- 85748 Garching
- Kreis
- Landkreis München
- Bundesland
- Bayern
- NUTS
- DE21H
Verlauf
- 05.06.2025 Ausschreibung veröffentlicht
- 25.10.2026 Ergebnis veröffentlicht
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