Zum Inhalt springen
Zuschlag erteilt Offenes Verfahren (EU-weit) · veröffentlicht am 22.05.2026

maskenloses UV-Direktlithographie-System

Auftraggeber: Friedrich-Schiller-Universität Jena · Jena

Friedrich-Schiller-Universität Jena hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Jena am 14.07.2026 vergeben, Zuschlag an Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH. Zuschlagssumme laut Bekanntmachung: 190.785 €. Eingegangen: 2 Angebote.

Zuschlag an

Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH Heidelberg

Summe
190.785 €
Angebote
2
Zuschlag
14.07.2026

Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), veröffentlicht am 15.07.2026.

Angaben in Kürze

Aus den Feldern, ohne KI
Was
Labor- und Messtechnik: maskenloses UV-Direktlithographie-System
Wo
Jena, Thüringen
Wer kann anbieten
Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 15.07.2026, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden

Leistungsumfang

Beschreibung laut Bekanntmachung

Beschafft werden soll ein kompaktes, für den Reinraumeinsatz geeignetes Tischsystem zur maskenlo-sen UV-Direktlithographie für Forschung, Entwicklung und Kleinserien-Prototyping. Das System muss sowohl eine rasterbasierte Vollflächenbelichtung als auch einen zusätzlichen vektorbasierten Direkt-belichtungsmodus bereitstellen, um hochauflösende Mikro- und Nanostrukturen, Ausbesserungen bestehender Strukturen sowie konturtreue Linienbelichtungen auf unterschiedlichsten Substraten zu ermöglichen. Daraus ergeben sich folgende Mindestanforderungen: siehe Anlage 2

Erfüllungsort

Ort
nicht angegeben
Kreis
Jena
Bundesland
Thüringen
NUTS
DEG03

Verlauf

  1. 22.05.2026 Ausschreibung veröffentlicht
  2. 15.07.2026 Ergebnis veröffentlicht

Häufige Fragen

Wer hat den Auftrag bekommen?

Den Zuschlag hat Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH erhalten, Summe 190.785 €.

Quellen Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de ↗ Daten: Bekanntmachungsservice, Lizenz CC0. Namen und persönliche Kontaktdaten von Ansprechpersonen entfernen wir automatisch. Ist uns etwas entgangen? Fehler melden

Ähnliche offene Ausschreibungen

Endet bald Hochleistungs-Erbium-Faser-Laser - PR1261401-2660-W
Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
02.11.2026 noch 2 Tage
nicht angegeben Wert, geschätzt
Jena Thüringen
Endet bald Femtosekunden-Lasersystem (6 Lose)
Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, Zentrale Vergabestelle
03.11.2026 noch 3 Tage
nicht angegeben Wert, geschätzt
Ilm-Kreis Thüringen
Offen optisches Transmissionsmesssystem
Friedrich-Schiller-Universitat Jena
10.11.2026 noch 10 Tage
nicht angegeben Wert, geschätzt
Jena Thüringen

Weitere Zuschläge dieses Auftraggebers

Von hier aus weiter