Lift-Off-Prozesmodul
Auftraggeber: Physikalisch-Technische Bundesanstalt · Berlin
Physikalisch-Technische Bundesanstalt hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Berlin am 16.06.2025 vergeben, Zuschlag an Robotechnik Europe GmbH. Zuschlagssumme laut Bekanntmachung: 245.000 €. Eingegangen: 4 Angebote.
Robotechnik Europe GmbH Singen (Hohentwiel)
- Summe
- 245.000 €
- Angebote
- 4
- Zuschlag
- 16.06.2025
Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), veröffentlicht am 29.07.2025.
Angaben in Kürze
Aus den Feldern, ohne KI- Was
- Labor- und Messtechnik: Lift-Off-Prozesmodul
- Wo
- Berlin
- Wer kann anbieten
- Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 29.07.2025, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden
Leistungsumfang
Beschreibung laut BekanntmachungLieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von 1 Stück Prozessmodul für die Bearbeitung einzelner Wafer im Lift-Off-Verfahren. Als Prozesschemikalie muss Dimethylsulfoxid (DMSO) verwendet werden. Das DMSO muss aufgeheizt und auf hohen Druck gebracht werden können. Zudem muss hochreines Wasser (DIW) mit 0,055 μS/cm zum Spülen verwendet werden können.
Erfüllungsort
- Ort
- nicht angegeben
- Kreis
- Berlin
- Bundesland
- Berlin
- NUTS
- DE300
Verlauf
- 06.04.2025 Ausschreibung veröffentlicht
- 29.07.2025 Ergebnis veröffentlicht
Häufige Fragen
Wer hat den Auftrag bekommen?
Den Zuschlag hat Robotechnik Europe GmbH erhalten, Summe 245.000 €.
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