Ionenstrahlätzanlage
Auftraggeber: Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. · Jena
Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Jena am 29.09.2025 vergeben, Zuschlag an scia Systems GmbH. Zuschlagssumme laut Bekanntmachung: 1.191.182,88 €. Eingegangen: 1 Angebot.
scia Systems GmbH Chemnitz
- Summe
- 1.191.182,88 €
- Angebote
- 1 Nur 1 Angebot
- Zuschlag
- 29.09.2025
Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), veröffentlicht am 02.10.2025.
Angaben in Kürze
Aus den Feldern, ohne KI- Was
- Labor- und Messtechnik: Ionenstrahlätzanlage
- Wo
- Jena, Thüringen
- Wer kann anbieten
- Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit
- 01.10.2025 bis 15.12.2026
Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 02.10.2025, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden
Leistungsumfang
Beschreibung laut BekanntmachungDas Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die Dünnschichtstrukturierung und -abscheidung eine Ionenstrahlätz- und Beschichtungsanlage aus, welche zum Ätzen und Abscheiden von Dünnschichten auf unterschiedlichen Substraten vom Einzelchipformat bis zum 150 mm Wafer eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind reproduzierbare Ätzprozesse verschiedener metallischer, halbleitender und isolierender Schichten sowie das Abscheiden metallischer und isolierender Schichten ohne Vakuumunterbrechung (Multilagen). Ein Steuer-PC mit Monitor, Tastatur, Maus, entsprechender Software-Lizenzen und aktuellem Betriebssystem (Win 11) ist mitzuliefern.
Erfüllungsort
Verlauf
- 07.08.2025 Ausschreibung veröffentlicht
- 02.10.2025 Ergebnis veröffentlicht
Häufige Fragen
Wer hat den Auftrag bekommen?
Den Zuschlag hat scia Systems GmbH erhalten, Summe 1.191.182,88 €.
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