Grundgasversorgung, Tankfarm und Logistik der Prozessgasversorgung 2021-2024

1. Vorbemerkungen Das IHP erforscht und entwickelt Silizium-basierte Systeme, Höchstfrequenz-Schaltungen und Technologien für Anwendungsbereiche wie drahtlose und Breitbandkommunikation, Luft- und Raumfahrt, Biotechnologie & Medizin, Automobilindustrie, Sicherheitstechnik und Industrieautomatisierung. In diesem Zusammenhang sind halbleiterspezifische Prozesslinien durchgängig, an 24 h, unterbrechungsfrei mit Medien zu versorgen. Das IHP beabsichtigt, die Fortsetzung der Grundgasversorgung und Logistik der Prozessgasversorgung am Standort: Im Technologiepark 25, 15236 Frankfurt (Oder) im Rahmen eines Verhandlungs- verfahrens aus zuschreiben. 2. Leistungsumfang Leistungsumfang ist die unterbrechungsfreie Fortführung der Grundgasversorgung und Logistik der Prozessgasversorgung. In diesem Zusammenhang sucht der AG ein optimales Versorgungskonzept, welches sich unter Einhaltung der rechtlichen und örtlichen Rahmenbedingungen am Erfüllungsort realisieren lässt. In den Leistungszeitraum fällt die Inbetriebnahme der strategischen Reinraumerweiterung, einhergehend mit dem Hook up neuer Prozesstools. Die ausgeschriebene Leistung beinhaltet: — Lieferung, Installation und Betrieb von Anlagen zur Grundgaserzeugung (Onsite-Anlagen) Der Schallleistungspegel dieser Anlagen darf einen Zielwert von 75dB(A) nicht überschreiten. Der eigenständige Stromeinkauf zur Versorgung der Erzeugeranlagen ist zu prüfen; — Errichtung/Betrieb einer Tankfarm; — Lieferung von Bulkgasen; — Lieferung, Installation und Betrieb von Anlagen zur Nachreinigung und Analytik; — Lagerhaltung, Logistik und Flaschenwechsel der Prozessgasversorgung. Es gelten die folgenden Rahmenparameter: 1. Unterbrechungsfreie N2-Versorgung: — Qualität 4.0/6.0 ca. 750 Nm3/h; — Qualität 8.0 ca. 100 Nm3/h. 2. Unterbrechungsfreie H2-Versorgung: — Qualität 8.0 ca. 10 Nm3/h. 3. Unterbrechungsfreie O2-Versorgung: — Qualität 4.0 ca. 3 Nm3/h; — Qualität 8.0 ca. 15 Nm3/h. 4. Unterbrechungsfreie Ar-Versorgung: — Qualität 8.0 ca. 6 Nm3/h. 5. Unterbrechungsfreie He-Versorgung: — Qualität 6.0 ca. 0,2 Nm3/h. Das IHP erwartet die Bereitstellung der Grundgase 1.-5. am point of use. Dabei geht es um das optimale Konzept, mit den möglichen Bestandteilen: Lieferung, Nachreinigung und Erzeugung vor Ort. In diesem Zusammenhang übernimmt der externe Dienstleister auch Betreiberleistungen für folgende Kundenanlagen: — H2-Generator, H2-Reiniger; — Purifiersysteme für N2, O2, Ar; — Online-Analytik. Die Leistung >Logistik der Prozessgasversorgung< beinhaltet die Lagerhaltung, Abruf und Flaschen- wechsel. Ziel ist die kontinuierliche Bereitstellung von Flaschengasen in ca. 30 produktiven z. T. Sicherheits- gasschränken. Es handelt sich hier um Spezialgase für Halbleiter-Technologien, welche auf Grund ihrer Eigenschaften besonderen Sicherheitsanforderungen unterliegen. Die Prozessgase werden über gesonderte Rahmenvereinbarungen beschafft und sind nicht Bestand- teil dieses Verhandlungsverfahrens.