Zweistrahl-Rasterelektronenmikroskop (FIB – SEM)

Gefordert wird ein Zweistrahlgerät aus einem kombinierten Feldemissions-Raster-Elektronen- und einem Ga-Raster-Ionen-Mikroskop mit entsprechender Peripherie für 2D und 3D Untersuchung von biologischen Proben mit maximaler Parameterstabilität auch bei Laufzeiten von mindestens 4 Tagen. Das System muss für ultraschnelle Echtzeituntersuchungen geeignet sein und muss eine Technik zur Erhöhung der Effizienz komplexer Arbeitsabläufe und Ergebniskonsistenz aufweisen. Das System muss höchste Nieder kV SEM Auflösung (bis 1 nm) und Tiefenschärfe sowie TEM Bild ähnlichen Kontrast der Probe ermöglichen. Die Software muss Systemsteuerung, Bildverarbeitung, Segmentierung von Strukturen, 3D Rekonstruktion, Array Tomografie und korrelative Licht-/Elektronenmikroskopie mit höchster Effizienz ermöglichen. Die SEM Beobachtung der FIB-Strahl Tätigkeit muss bei allen Bedingungen gewährleistet sein. Das System muss über eine Technik für das effiziente, korrelative Auffinden der ROI verfügen.