Waferprober für das Innovationszentrum Hamburg

Zur Charakterisierung und Beurteilung der hergestellten Strukturen ist eine elektrische Charakterisierung notwendig. Die Messungen sollen auf Waferlevel durchgeführt werden, um eine ausreichende Datenbasis aufzunehmen. Zur elektrischen Kontaktierung und deren Steuerung wird ein Waferprober benötigt, der einen manuell eingeladenen Wafer automatisiert abfährt (halbautomatische Messung). Die Messungen sollen sowohl mittels einzelner Sondenspitzen als auch einer Sondenkarte und DC- wie auch RF-Messungen umfassen. Aufgabe des Waferprobers ist die Positionierung und Kontaktierung der Probe. Die Messung selbst wird durch andere Geräte durchgeführt, die nicht Teil der Ausschreibung sind. Auftragsgegenstand • Anlagen gemäß Spezifikation inkl. Lieferung, Inbetriebnahme, Abnahme und Schulung • Service und Wartung gemäß Spezifikation