Zuschlag erteilt Nur 1 Angebot Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (EU-weit) · veröffentlicht am 06.03.2024

UV-Lithografiesystem (Mask-Aligner mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage

Auftraggeber: Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, Zentrale Vergabestelle · Ilmenau

Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, Zentrale… hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik im Ilm-Kreis am 21.08.2024 vergeben, Zuschlag an EV Group E. Thallner GmbH. Eingegangen: 1 Angebot.

Zuschlag an

EV Group E. Thallner GmbH Neuhaus am Inn

Summe: nicht veröffentlicht
Angebote: 1 Nur 1 Angebot
Zuschlag: 21.08.2024

Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), veröffentlicht am 17.09.2024.

Angaben in Kürze

Aus den Feldern, ohne KI

Was: Labor- und Messtechnik: UV-Lithografiesystem (Mask-Aligner mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage
Wo: Ilm-Kreis, Thüringen
Wer kann anbieten: Zuerst Teilnahmeantrag. Es werden 3 bis 5 Bewerber zur Angebotsabgabe aufgefordert.

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 17.09.2024, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden

Leistungsumfang

Beschreibung laut Bekanntmachung

Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, ein UV-Lithografiesystem mit UV-LED-Beleuchtung und motorisierter Stage mit Autoalignmentfunktion für die maskenbasierte deckungsgenaue Mehrebenenlithografie für 2,5- und 3-dimensionale Mikro- und Nanostrukturen auf Substraten bis 150 mm Durchmesser sowie Bondalignment im Laborbetrieb zu beschaffen.

Erfüllungsort

Ort: nicht angegeben
Kreis: Ilm-Kreis
Bundesland: Thüringen
NUTS: DEG0F

Verlauf

06.03.2024 Ausschreibung veröffentlicht
17.09.2024 Ergebnis veröffentlicht

Häufige Fragen

Wer hat den Auftrag bekommen?

Den Zuschlag hat EV Group E. Thallner GmbH erhalten.

Quellen Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de ↗ Daten: Bekanntmachungsservice, Lizenz CC0. Namen und persönliche Kontaktdaten von Ansprechpersonen entfernen wir automatisch. Ist uns etwas entgangen? Fehler melden

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