Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration
Auftraggeber: IHP GmbH - Lebniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Frankfurt (Oder)
IHP GmbH - Lebniz-Institut für innovative Mikroelektronik hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in Frankfurt (Oder) am 21.09.2026 vergeben, Zuschlag an SFI Solutions for Instruments GmbH. Eingegangen: 1 Angebot.
SFI Solutions for Instruments GmbH Allershausen
- Summe
- nicht veröffentlicht
- Angebote
- 1 Nur 1 Angebot
- Zuschlag
- 21.09.2026
Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), veröffentlicht am 04.11.2026.
16 offene Ausschreibungen: Maschinen und Geräte in Brandenburg
- manueller WafermounterFrist 26.11.2026, noch 20 Tage · Frankfurt (Oder)
- Grunderneuerung GUW 4Teilnahmeantrag bis 16.11.2026, noch 10 Tage · Frankfurt(Oder)
- humanoider RoboterFrist 20.11.2026, noch 14 Tage · Cottbus
Angaben in Kürze
Aus den Feldern, ohne KI- Was
- Maschinen und Geräte: Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration
- Wo
- Frankfurt (Oder), Brandenburg
Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 04.11.2026, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden
Leistungsumfang
Beschreibung laut BekanntmachungGegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierzu sind insbesondere Anpassungen am Gasverteilungssystem zur Realisierung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses sowie die Integration zusätzlicher Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr erforderlich. Die Leistungen umfassen die Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der erforderlichen Hard- und Softwareanpassungen am bestehenden Anlagensystem.
Erfüllungsort
- Ort
- 15236 Frankfurt (Oder)
- Kreis
- Frankfurt (Oder)
- Bundesland
- Brandenburg
- NUTS
- DE403
Verlauf
- 04.11.2026 Ergebnis veröffentlicht
Häufige Fragen
Wer hat den Auftrag bekommen?
Den Zuschlag hat SFI Solutions for Instruments GmbH erhalten.
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