Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration
Auftraggeber: IHP GmbH - Lebniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Frankfurt (Oder)
IHP GmbH - Lebniz-Institut für innovative Mikroelektronik hat einen Auftrag für Maschinen und Geräte in Frankfurt (Oder) ausgeschrieben. Teilnahmeanträge waren bis 07.07.2026 möglich. Ergebnis noch nicht veröffentlicht.
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Angaben in Kürze
Aus den Feldern, ohne KI- Was
- Maschinen und Geräte: Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration
- Wo
- Frankfurt (Oder), Brandenburg
- Bis wann
- Teilnahmeantrag bis 07.07.2026, 12:00 Uhr
- Wer kann anbieten
- Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab. Für KMU geeignet laut Bekanntmachung.
Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 05.06.2026, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden
Leistungsumfang
Beschreibung laut BekanntmachungGegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierzu sind insbesondere Anpassungen am Gasverteilungssystem zur Realisierung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses sowie die Integration zusätzlicher Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr erforderlich. Die Leistungen umfassen die Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der erforderlichen Hard- und Softwareanpassungen am bestehenden Anlagensystem.
Erfüllungsort
- Ort
- 15236 Frankfurt (Oder)
- Kreis
- Frankfurt (Oder)
- Bundesland
- Brandenburg
- NUTS
- DE403
Verlauf
- 05.06.2026 Ausschreibung veröffentlicht
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