System für reaktives Ionenätzen

System zum Ionenätzen (RIE) mit Plasmaquelle Bei dem zu beschaffenden System muss es sich um ein erprobtes System handeln, da die Ätzprozesse für Forschungszwecke benötigt werden. Im Preis soll der Besuch eines Prozeßspezialisten (mind 3 Tage vor Ort) zum Prozessnachweis und zum Training enthalten sein. Darüber hinaus wird die kostenlose Prozessunterstützung für mind. 20 Jahre gefordert. Das HZG behält sich das Recht vor, im Rahmen der Angebotsauswertung sich das Gerät bzw. ein vergleichbares Gerät vorführen zu lassen (z.B. als Demo Gerät oder bei einem andren Kunden) um die geforderten mindest Anforderungen zu überprüfen. Der Platzbedarf des Systems soll kleiner als 80 cm x 95 cm sein (ohne Vorpumpen, PC, etc).