Spektroskopisches Ellipsometer

Spektroskopisches Ellipsometer Spektralbereich 190 nm - 3500 nm mit vorzugsweise Si CCD und InAs Detektoren Automatischer Pyramidengoniometer mindestens im Bereich von 20Grad - 100Grad, mit minimaler Schrittweite von 0.002Grad Automatischer 200 mm X-Y-Mappingtisch mit einer Genauigkeit < 5 Müm Automatische Probenausrichtung in Höhe und Neigung PC mit Flachbildschirm inklusive Software zur Ansteuerung Hochstabilisierter Kompensator für den UV-VIS- und NIR-Spektralbereich Variabler Strahldurchmesser < 4 mm Software für die spektroskopische Ellipsometrie, einschließlich hochentwickelter Mehrfachwinkel-, Mehrfachproben- und kombinierter photometrischer Datenanalyse, Mueller-Matrix-Formalismus, verallgemeinerter Ellipsometrie, und programmierbarer Kundenschnittstelle Optional: Strahldurchmesser < 0,3 mm