Spektroskopisches, abbildendes Ellipsometer

Gesucht wird ein spektroskopisches, abbildendes Ellipsometer zur optischen Charakterisierung (u. a. dielektrische Funktion und deren Anisotropie, Band-Band-Übergänge, Exzitonen, Oberflächeneigenschaften) von Halbleitern mit einer weiten Bandlücke (z. B. ZnO and darauf basierte Mischverbindungen) und dielektrischen Materialien (ZrO2, Al2O3, SiN, SiOx) sowie darauf basierende Dünnschichten und Strukturen im nahen infraroten Spektralbereich (1 000 nm) bis hin zum UV Spektralbereich (250 nm). Um stark räumliche variierende optischen Eigenschaften der Proben, z. B. durch Strukturierungen im ?m-Bereich oder räumliche Gradienten in der Zusammensetzung der verwendeten Materielaien zu bestimmen, ist spektroskopische, abbildende Ellipsometrie erforderlich mit einer lateralen Auflösung von bis zu 1μm. Das Ellipsometer soll zudem eine Kartierung der optischen Eigenschaften, Materialkonstanten und Probenaufbau erlauben. Des Weiteren kommen zum Teil optisch transparente Substrate zum Einsatz, so dass für eine geeignete Modellierung der Spektren die an der Rückseite des Substrates reflektierten Strahlen nicht detektiert werden sollten. Zum Leistungsumfang gehören Lieferung frei Verwendungsstelle, Montage, Installation, betriebsbereite Aufstellung, Abnahme sowie Einweisung und Schulung.