Silizium-Mikrostreifensensoren

Für den zentralen Detektor des CBM-Experiments am Beschleunigerzentrum FAIR, das Silizium-Spurdetektorsystem STS, sollen Silizium-Mikrostreifensensoren beschafft werden. Dabei handelt es sich um doppelseitig segmentierte Sensoren (p-in-n Strukturen) aus n-typ Wafermaterial der Dicke zwischen 300 und 400 Mikrometer, in anwendungsspezifischem Design mit einem Streifen-Pitch von 58 Mikrometern, 1024 Streifen pro Seite, einem Stereowinkel von 7.5 Grad zwischen Vor- und Rückseitenstreifen, integrierter AC-Auskopplung der Streifensignale und einer zweiten Metalllage zur Auslese von p-Streifen in den Eckregionen. Die Sensoren sollen Strukturen zur Spannungsverteilung und Guardringe auf beiden Sensorseiten aufweisen.