Röntgeninspektionssystem

Die Abteilung ISS des Fraunhofer FHR entwickelt auf Chip-Technologie basierende integrierte Höchstfrequenzsensoren. Für die im Rahmen dieser Arbeit entwickelten Demonstratorsysteme, Prototypen und Messaufbauten werden Platinen entwickelt und extern gefertigt. Die Einhaltung der strikten Fertigungstoleranzen stellt insbesondere im Hochfrequenz- und im HDI-Bereich eine große Herausforderung dar und die Einhaltung der geforderten Parameter kann aufgrund von Prozessunsicherheiten bei Lieferanten nicht ohne weiteres garantiert werden. Optische Inspektionssysteme stellen bei oberflächlichen Strukturen eine gute Möglichkeit der Kontrolle dar, mögliche Probleme durch den Versatz internen Strukturen können auf diese Weise im Vorfeld allerdings nicht immer ausgeschlossen werden. Ein durchleuchtendes System stellt hier die einzige nichtinvasive Möglichkeit dar.