Retrofit PECVD Anlage

Unsere vorhandene PECVD Clusteranlage, zur Herstellung von amorphen Dünnschichtmaterialien, soll auch im neuen INCYTE Gebäude weiterbetrieben werden. Dazu muss diese im Gebäu-de Hölderlin E abgebaut und INCYTE erneut aufgebaut und von einer Fachfirma in Betrieb genommen werden. In der PECVD Clusteranlage der Firma MVS werden und wurden zum dotieren der Silizium-schichten, meist hoch-toxische Gase verwendet. Ein Abbau, Dekontamination und Wiederaufbau inkl. Aktualisierung aller Systemkomponenten, Anbindung an die Sicherheitsinfrastruktur des Forschungsneubaus und Vorabtests im Bestand (Gaswarnsysteme) sowie die Erstellung einer umfassenden Dokumentation sind daher sicherheitsrelevant und sehr komplex.