Reaktives-Ionenätzen-System
Auftraggeber: Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) - Stuttgart · Stuttgart
Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. (DLR) - Stuttgart hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Stuttgartt am 22.11.2024 vergeben, Zuschlag an Oxford Instruments GmbH. Eingegangen: 1 Angebot.
Oxford Instruments GmbH Wiesbaden
- Summe
- nicht plausibel
- Angebote
- 1 Nur 1 Angebot
- Zuschlag
- 22.11.2024
Quelle: Bekanntmachung auf oeffentlichevergabe.de (CC0), veröffentlicht am 27.11.2024.
Angaben in Kürze
Aus den Feldern, ohne KI- Was
- Labor- und Messtechnik: Reaktives-Ionenätzen-System
- Wo
- Stuttgartt, Stuttgart, Baden-Württemberg
- Wer kann anbieten
- Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 27.11.2024, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden
Leistungsumfang
Beschreibung laut BekanntmachungFür die Prozessierung von Halbleiterbauelementen im Rahmen der Forschung und Entwicklung wird ein erprobtes System für das Reaktive Ionen Ätzen (RIE) benötigt. Das RIE-System muss das kontrollierte und reproduzierbare Ätzen der III-V-Verbindungshalbleiter GaAs und InP sowie das Ätzen von dielektrischen Materialien wie zum Beispiel SiO2 und Si3N4 ermöglichen. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.
Erfüllungsort
- Ort
- 70569 Stuttgartt
- Kreis
- Stuttgart
- Bundesland
- Baden-Württemberg
- NUTS
- DE111
Verlauf
- 08.09.2024 Ausschreibung veröffentlicht
- 27.11.2024 Ergebnis veröffentlicht
Häufige Fragen
Wer hat den Auftrag bekommen?
Den Zuschlag hat Oxford Instruments GmbH erhalten.
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