Rastertransmissonsröntgenmikroskop (STXM)

Entwicklung, Konstruktion,Anfertigung eines Rastertransmissionsröntgen-mikroskops(Scanning Transmission X-Ray icroscope, STXM)für den Einsatz im weichen Röntgenbereich(120 – 2000 eV) am Berliner Synchrotronstrahlungslabor BESSY-II. Ziel ist die Untersuchung von geeigneten Proben sowohl in Transmission als auch mit dem Probenstrom mit einer lateralen Ortsauflösung von unter 20 Nanometer. Das STXM soll in einer Ultrahoch-Vakuum Konstruktion aus Edelstahl angefertigt werden. Die zu untersuchenden Proben sollen mit einer Kombination von einem motorbasierten sowie von einem interferometrisch kontrollierten, piezobasierten Positionierungssystem das Rastern von Proben im Größenbereich von Millimetern sowie von Nanometern ermöglichen.Die Einzigartigkeit des STXM besteht darin,dass eine modulare Konstruktion realisiert wird,die sowohl die Verwendung verschiedener Detektoren(z.B. Photomultiplier und CCD-Kamera)als auch der Einsatz von unterschiedlichen Probenumgebungen (Gaszellen, Kryostate) gestatted.