Rasterlektronenmikroskop mit Feldmissionskathode.

Im INF, CHyN-Arbeitsgruppe Blick wird für die zukünftige Forschungsarbeit im Bereich Nanoforschung ein Rasterlektronenmikroskop mit Feldmissionskathode benötigt. Wichtige Parameter sind: — stabiles Arbeiten am FERM bis zu 24 stunden und zugleich analytischen Arbeiten (z.B. EDX), erreicht wird dies durch ein patentiertes Verfahren — patentierte Detektion Technologie, die effektive InLens-Signaltrennung erlaubt — exakte Trennung von SE und HighAngel-BSE im Nicht-Gegenfeld / Normal-Modus sowie besondere oberflächenannahme SE (Top-Detektor) und BSE (Upper-Detektor) im Gegenfeld Modus (Deceleration) muss möglich sein — hohe Ausbeute von Inlens-SE-Elektronen durch die Magnetische Immersionslinse bei extrem niedrigen Spannungen ist für schwach emittierten Proben wie z.B. Komposit-Materialien von Vorteil — Kombination aus niedrigsten Strahlströmen, eine vollintegrierten Kühlfalle und einer Schleuse zur effektiven Reduktion von Kontaminationen ist für die Probenund Forschungsvorhaben von Bedeutung.