Rasterelektronenmikroskope

Los1: Diese Leistungsbeschreibung spezifiziert ein Focused Ion Beam – Rasterelektronmikroskop (FIB-REM) mit Energiedispersive Röntgenspektroskopie – Electron Back Scatter Diffraction (EDX-EBSD) Analysensystem: Feldemitter REM mit fokussiertem GaIonenstrahlsystem für 3D-Analysen, wie Tomographie-, EDX- und EBSD-Messungen mit hoher Auflösung, hohem Strahlstrom und Beschleunigungsspannungserhöhung in der Säule: Los 2: Diese Leistungsbeschreibung spezifiziert ein FE- Ga-FIB- REM (Feldemissions Gallium Focused Ion Beam Rasterelektronenmikroskop) mit EDX (Energiedispersiven Röntgen)- Analysensystem und optionalem Quadrupol- oder ToF- SIMS (Time of Flight Sekundär Ionen Massenspektrometer) System. Schottky- Feldemitter REM für hohe Auflösung und hohen Strahlstrom, mit fokussiertem Ionenstrahlsystem, Beschleunigungsspannungserhöhung in der Säule für bessere Auflösung bei kleinen Hochspannungen. Anwendungsbereich im Bereich Materialforschung.