PVD Chamber for Sputter Deposition (HI ERN) II

Das Helmholtz-Institut Erlangen-Nürnberg für Erneuerbare Energien (HI-ERN) erforscht und entwickelt material-und prozessbasierte Lösungen für eine klimaneutrale, nachhaltige und kostengünstige Nutzbarmachungerneuerbarer Energien. Das Institut beschäftigt sich mit der strukturellen und funktionellen Charakterisierung, Modellierung und Herstellung von Materialien, die für die Wasserstoff- und Solartechnik relevant sind. Das gemeinsame Ziel ist das Verständnis der Struktur-Leistungs-Prozessbeziehung auf der Mesoskala. Das HI-ERN ist Teil des Forschungszentrums Jülich und wird in enger Kooperation mit der Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU) und dem Helmholtz-Zentrum Berlin (HZB) betrieben. Beschafft werden soll eine PVD-Anlage, bestehend aus einer Einleitungskammer (Kammer 1) mit Standard-CF-Anschlüssen, einer Prozesskammer (Kammer 2), die ein Vakuum von mindestens 5 x 10-8 mbar ermöglicht, mit optionaler Substrat-Plasma-Vorbehandlung und der Nachbehandlung der abgeschiedenen Schichten bei einer gewünschten Temperatur. Mindestens eine dieser Kammern sollte mit zusätzlichen Standard-CF-Anschlüssen für eine spätere Erweiterung der Anlage, z. B. den Anschluss eines Transportgefäßes, ausgestattet sein.