PECVD Process module an III-V etch Clusrtertool

Kombinationstool PE CVD Kammer für III-V Prozessierung Anlagenrichtpreis Für die unten ausgeschriebene Anlage gilt ein Richtpreis von 0.9 Mill. Euro netto. Gebrauchswert Aufgearbeitete und bereits verwendete Anlagen oder Anlagenteile sind aufgrund des erhöhten Sachmangelrisikos ausgeschlossen. Folgekosten Für die Abschätzung der Folgekosten nach Ablauf der Garantie ist ein Zeitplan für den planmäßigen Austausch von Anlagenteilen für die folgenden 3 Jahre mit einzureichen. Geräteevaluierung Um die Leistungsfähigkeit der Prozesskammern von unterschiedlichen Anbietern beurteilen und vergleichen zu können, wird im Rahmen der Ausschreibung eine Evaluierung durchgeführt werden. Eine Evaluierung wird mit den Anbietern durchgeführt, die die Leistungsbeschreibung vollständig erfüllen. Diesen Anbietern werden Wafer mit einer ausführlichen Anforderungsbeschreibung zur Verfügung gestellt. Innerhalb von 60 Tagen müssen die Wafer bearbeitet sein und die Ergebnisse in Form eines Berichtes vorliegen.