Parylene-Beschichtungssystem

Lieferung und Inbetriebnahme eines Laborsystems zur Beschichtung von Substraten mit Parylene. Die Anlage ist für die Beschichtung von Proben variabler Geometrie bis zu einer Größe von 150*150*150 mm³ mit Parylene im Laborbetrieb vorgesehen. Die Parylenebeschichtung soll vorrangig als nachhaltigere Alternative zu PFAS-basierten Beschichtungen in mikrotechnischen Baugruppen eingesetzt werden. Es sollen unterschiedliche Parylene zum Einsatz kommen (u.a. N, C, D). Der Betrieb erfolgt manuell, es soll jedoch eine geeignete Programmsteuerung zur reproduzierbaren und protokollierbaren Prozessdurchführung vorhanden sein. Typischerweise werden wenige Einzelproben pro Tag prozessiert.