Nassätztool Platin-Ätzung

Allgemeine Information: — Zur Abschätzung der Folgekosten nach Ablauf der Garantie muss ein Plan für die Ersatzteilbeschaffung für die darauf folgenden 3 Jahre ausgestellt werden, — Die Anlage wir ein einem Reinraum Klasse ISO 3-5 aufgestellt. Die Anlage muss folgende Anforderungen erfüllen: — Maximale Größe (b x l x h): 1.00 m x 1.65 m x 2.50 m, — Bearbeitung von 8" Si-Substraten im Batch (1x25), — Anlage muss „State-of-the-art“ sein, — Kompatibel mit Carrier des Typs Entegris A192 – 81M (low profile PFA-Carrier), — Ein Prozessbecken das kompatibel mit Königswasser (Zusammensetzung: 7 Volumenteile 37 % HCl und 1 Volumenteil 65 % HNO3) ist und auf mindestens 90 GradC geheizt werden kann, — Möglichkeit, das Königswasser bis zu einem Verhältnis 1:1 mit DIW zu verdünnen (Zusammensetzung: 7 Volumenteile 37 % HCl und 1 Volumenteil 65 % HNO3 und 8 Volumenteile DIW), — Optional: Carrier kann im Prozessbecken bewegt werden (Agitation), — Ein DIW-Spülbecken, — Möglichkeit, HCl und/oder HNO3 vor und während des Prozesses an bestimmten Zeiten zu spiken, — Manuelle Be- und Entladung, automatischer Transfer des Carriers zwischen Prozess- und Spülbecken, — Befüllen des Prozesstanks mit erfolgt aus der Zentralversorgung, — Entsorgung der Prozesschemikalien aus dem Prozessbecken erfolgt in eine Zentralentsorgung, — Umwälzfiltration für Prozessbecken: Pumpe und 0.1 ?m Filter (Typ: Pall ABF1UFT3EH1K3), — Wartungsarbeiten sind ausschließlich von der Anlagenvorderseite und Anlagenrückseite möglich, kein Zugriff von der Anlagenseite möglich, — Alle Bedienelemente müssen sich an der Anlagenvorderseite befinden, — Ergonomische Bedienungsoberfläche (frei positionierbarer Bildschirm), — Signalleuchten an der Anlagenvorderseite (mind. Rot, Gelb, Grün), — Elektrische Anschlüsse: 230/400VAC 50Hz TN-S Netz (N/PE getrennt), — EG-Maschinenrichtlinie in der aktuellen Fassung muss erfüllt werden, — 2014/30/EU EMV ist erfüllt, — Ablage muss CE zertifiziert sein. Software: — Verfügbar in deutscher Sprache, — Mehrere passwortgeschützte Benutzerlevel, — Mehrere Rezepte können gespeichert werden, — Individuelle Rezepte können erstellt werden, mit größtmöglicher Flexibilität der Prozessparameter, — Protokollierung von Benutzeraktivitäten, Prozessen und Fehlermeldungen. Zusätzliche Anforderungen: — 12 Monate Garantie, — Anlagentraining für Operator/Maintenance/Prozessingenieure, — Handbücher in Deutsch, verfügbar digital sowie ausgedruckt auf Reinraumpapier, — Ersatzteilkit (bitte spezifizieren), — Lieferung nach Incoterm 2010 DDP, DPU oder DAP, — Bei Lieferungen außerhalb der EU ist der Lieferant auch der Importeur, — Medienanschlüsse sind in einem technischen Klärungsgespräch zu definieren.