Nanolithographiegerät

Das Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung betreibt ein Nanostrukturlabor, in dem elektronische Materialien strukturiert und kontaktiert werden können. In diesem Rahmen wurde in den letzten Jahren eine Anlage entwickelt, mit der 2dimensionale Halbleiter unter inerter Atmosphäre deponiert und kontaktiert werden können. Für die elektrische Kontaktierung auf der Nanoskala soll ein Lithografiegerät beschafft werden, dass Nanostrukturen herstellen kann, ohne dass diese inerte Atmosphäre verlassen werden muss.