Nano-Scanning Auger Microscope (NanoSAM).

Das zu beschaffende Oberflächenanalytik-Systems soll für die Untersuchung und chemische Analyse von Oberflächen, 2D Materialien und dünnen Schichten im Ultrahochvakuum (UHV, Druck < 5x10-10 mbar) vor und nach der Modifizierung mit niederenergetischen Ionen eingesetzt werden. Das System muss die chemische Untersuchung mit Nanometerauflösung sowohl lateral, bildgebend (mapping / imaging), als auch in die Tiefe (depth profiling) aufgelöst, ermöglichen. Dafür muss es folgende Methoden in einem System vereinen: Raster Elektronen Mikroskopie (REM), Auger Elektronen Spektroskopie (AES), Raster Auger Elektronen Mikroskopie (SAM), Röntgen-Photoemissions-Spektrometrie (XPS) und energiedispersive Röntgenphotoemissionsspektrometrie. Weiterhin muss das System erweiterbar sein für ein bild- und winkelauflösendes Kathodolumineszenz (CL)-System, das von der Firma DELMIC in den Niederlanden gekauft wurde und zu einem späteren Zeitpunkt nachträglich in das System eingebaut werden wird.