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Zuschlag erteilt Öffentliche Ausschreibung (national) · veröffentlicht am 24.01.2017

Modul zur Siliziumnitridätzung.

Auftraggeber: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Frankfurt (Oder)

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik am 01.11.2016 vergeben. Wer den Zuschlag bekommen hat, steht nicht in der Bekanntmachung.

Zuschlag an

Gewinner nicht veröffentlicht

Summe
nicht veröffentlicht
Angebote
nicht veröffentlicht
Zuschlag
01.11.2016

Quelle: Bekanntmachung auf TED (© Europäische Union), veröffentlicht am 24.01.2017.

Angaben in Kürze

Aus den Feldern, ohne KI
Was
Labor- und Messtechnik: Modul zur Siliziumnitridätzung.
Wo
Brandenburg
Wer kann anbieten
Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 24.01.2017, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden

Leistungsumfang

Beschreibung laut Bekanntmachung

Leistungsbeschreibung eines Moduls zur Siliziumnitridätzung und Integration desselben in einen halbautomatischen Wet-Prozessor (HWP) der Fa. HMR Reinraum- & Labortechnik GmbH Modulanforderungen: Das Modul soll an eine bestehende Anlage des Typs SWP der Fa. HMR anschließbar, bezüglich seiner Funktionen teilweise integrierbar sein und ein altes Modul des Typs Nison 1800 der Fa. Nisso Eng. ersetzen. Das Modul muss in der Lage sein, konzentrierte Phosphorsäure auf eine Temperatur von max. 180°C zu erhitzen, zu pumpen, zu filtern und mit DI-Wasser zu mischen. Die Heizungsregelung des Moduls muss neben dem Durchlauferhitzer ebenfalls die Heizung des Prozessbeckens steuern.

Erfüllungsort

Ort
nicht angegeben
Bundesland
Brandenburg
NUTS
DE411

Verlauf

  1. 24.01.2017 Ergebnis veröffentlicht

Häufige Fragen

Wer hat den Auftrag bekommen?

Der Auftraggeber hat den Gewinner nicht veröffentlicht.

Quellen Bekanntmachung auf TED ↗ Daten: TED – Tenders Electronic Daily, © Europäische Union, Weiterverwendung mit Quellenangabe. Namen und persönliche Kontaktdaten von Ansprechpersonen entfernen wir automatisch. Ist uns etwas entgangen? Fehler melden

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