Maskless Aligner
Auftraggeber: Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. · Jena
Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Jena am 18.03.2022 vergeben, Zuschlag an Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH. Zuschlagssumme laut Bekanntmachung: 128.230 €. Eingegangen: 2 Angebote.
Originaltitel Los 3 - Maskless Aligner
Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH Heidelberg
- Summe
- 128.230 €
- Angebote
- 2
- Zuschlag
- 18.03.2022
Quelle: Bekanntmachung auf TED (© Europäische Union), veröffentlicht am 23.03.2022.
Angaben in Kürze
Aus den Feldern, ohne KI- Was
- Labor- und Messtechnik: Maskless Aligner
- Wo
- Jena, Thüringen
- Wer kann anbieten
- Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit
- bis 31.07.2022
Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 23.03.2022, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden
Leistungsumfang
Beschreibung laut BekanntmachungDas Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt für die maskenlose Photolithographie einen Maskless Aligner aus, welcher zur maskenlosen Belichtung von Photoresistschichten auf unterschiedlichen Substraten eingesetzt werden soll. Die zentralen Anforderungen an das System sind, daß bei moderater Strukturauflösung im Resist (1 - 2 µm) hohe Schreibgeschwindigkeiten und damit kurze Waferbelichtungszeiten zur Verfügung stehen (< 3 h für 4" Wafer) und die Belichtung auf bis zu 12 mm dicken Substraten erfolgen kann. - Wertungskriterien: technische Spezifikationen 60%, Preis 40%
Erfüllungsort
Verlauf
- 31.01.2022 Ausschreibung veröffentlicht
- 23.03.2022 Ergebnis veröffentlicht
Häufige Fragen
Wer hat den Auftrag bekommen?
Den Zuschlag hat Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH erhalten, Summe 128.230 €.
Ähnliche offene Ausschreibungen
Weitere Zuschläge dieses Auftraggebers
- ALD-AnlageZuschlag 18.09.2026 an SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH · 5 Angebote
- Interferometrisch überwachtes Tm-Hochleistungslasersystem für IR-FRSZuschlag 11.08.2026 an Active Fiber Systems GmbH · 1 Angebot
- Neubau Biophotonik - Gebäude - VE4420 BlitzschutzZuschlag 27.02.2026 an Einzelunternehmen aus Zeulenroda-Triebes · 5 Angebote
- Neubau Biophotonik-Gebäude - VE3200 RohbauZuschlag 27.02.2026 an FUCHS Bau GmbH · 10 Angebote
- Neubau Biophotonik - Gebäude - VE3900 BaustelleneinrichtungZuschlag 23.02.2026 an griep Baulogistik GmbH · 6 Angebote
- NIR-DauerstrichlaserZuschlag 02.02.2026 an TOPTICA Photonics SE · 1 Angebot