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Zuschlag erteilt Nur 1 Angebot Offenes Verfahren (EU-weit) · veröffentlicht am 17.05.2019

Maskenloser Belichter

Auftraggeber: TU Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung · Ilmenau

TU Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in TU Ilmenau am 09.07.2019 vergeben, Zuschlag an Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH. Zuschlagssumme laut Bekanntmachung: 368.037 €. Eingegangen: 1 Angebot.

Summe
368.037 €
Angebote
1 Nur 1 Angebot
Zuschlag
09.07.2019

Quelle: Bekanntmachung auf TED (© Europäische Union), veröffentlicht am 10.07.2019.

Angaben in Kürze

Aus den Feldern, ohne KI
Was
Labor- und Messtechnik: Maskenloser Belichter
Wo
TU Ilmenau, Ilm-Kreis, Thüringen
Wer kann anbieten
Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
Laufzeit
12 Monate

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 10.07.2019, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden

Leistungsumfang

Beschreibung laut Bekanntmachung

Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, eine Anlage zur laserbasierten UV-Lithografie ohne Verwendung von Masken mit automatischem Alignment für Wafer bis 150 mm Durchmesser mit Sub-Mikrometer-Auflösung bei hohem Durchsatz für Anwendungen in der Mikro- und Nanotechnologie zu beschaffen.

Erfüllungsort

Ort
TU Ilmenau
Kreis
Ilm-Kreis
Bundesland
Thüringen
NUTS
DEG0F

Verlauf

  1. 17.05.2019 Ausschreibung veröffentlicht
  2. 10.07.2019 Ergebnis veröffentlicht

Häufige Fragen

Wer hat den Auftrag bekommen?

Den Zuschlag hat Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH erhalten, Summe 368.037 €.

Quellen Bekanntmachung auf TED ↗ Daten: TED – Tenders Electronic Daily, © Europäische Union, Weiterverwendung mit Quellenangabe. Namen und persönliche Kontaktdaten von Ansprechpersonen entfernen wir automatisch. Ist uns etwas entgangen? Fehler melden

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