Maskenloser Belichter
Auftraggeber: TU Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung · Ilmenau
TU Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in TU Ilmenau am 09.07.2019 vergeben, Zuschlag an Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH. Zuschlagssumme laut Bekanntmachung: 368.037 €. Eingegangen: 1 Angebot.
Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH Heidelberg
- Summe
- 368.037 €
- Angebote
- 1 Nur 1 Angebot
- Zuschlag
- 09.07.2019
Quelle: Bekanntmachung auf TED (© Europäische Union), veröffentlicht am 10.07.2019.
Angaben in Kürze
Aus den Feldern, ohne KI- Was
- Labor- und Messtechnik: Maskenloser Belichter
- Wo
- TU Ilmenau, Ilm-Kreis, Thüringen
- Wer kann anbieten
- Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
- Laufzeit
- 12 Monate
Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 10.07.2019, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden
Leistungsumfang
Beschreibung laut BekanntmachungDie Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, eine Anlage zur laserbasierten UV-Lithografie ohne Verwendung von Masken mit automatischem Alignment für Wafer bis 150 mm Durchmesser mit Sub-Mikrometer-Auflösung bei hohem Durchsatz für Anwendungen in der Mikro- und Nanotechnologie zu beschaffen.
Erfüllungsort
Verlauf
- 17.05.2019 Ausschreibung veröffentlicht
- 10.07.2019 Ergebnis veröffentlicht
Häufige Fragen
Wer hat den Auftrag bekommen?
Den Zuschlag hat Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH erhalten, Summe 368.037 €.
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