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Zuschlag erteilt Nur 1 Angebot Vergabe ohne Teilnahmewettbewerb (EU-weit) · veröffentlicht am 31.05.2019

LPCVD Horizontal Furnace Model C.HORICOO 1.200

Auftraggeber: Forschungszentrum Jülich GmbH · Jülich

Forschungszentrum Jülich GmbH hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Forschungszentrum Jülich am 27.05.2019 vergeben, Zuschlag an Centrotherm Clean Solutions GmbH & Co KG. Zuschlagssumme nach den Angaben der Bekanntmachung: 829.900 €. Eingegangen: 1 Angebot.

Zuschlag an

Centrotherm Clean Solutions GmbH & Co KG Blaubeuren

Summe
829.900 €
Angebote
1 Nur 1 Angebot
Zuschlag
27.05.2019

Quelle: Bekanntmachung auf TED (© Europäische Union), veröffentlicht am 31.05.2019.

Angaben in Kürze

Aus den Feldern, ohne KI
Was
Labor- und Messtechnik: LPCVD Horizontal Furnace Model C.HORICOO 1.200
Wo
Forschungszentrum Jülich
Wer kann anbieten
Der Auftraggeber verhandelt direkt mit ausgewählten Unternehmen.

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 31.05.2019, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden

Leistungsumfang

Beschreibung laut Bekanntmachung

Die horizontale LPCVD-Anlage ist eine technische Anlage zur Deposition von Halbleiter- und Isolatorschichten auf Wafersubstraten bei niedrigem Druck mittels chemischer Gasphasenabscheidung. Schwerpunkte des Einsatzes der Anlage sind die Deposition von Siliziumoxid mittels TEOS-Prozessen und gering verspannten sowie stöchiometrischen Siliziumnitriden mit Dicken von einigen Nanometern bis zu einigen Mikrometern auf Substratwafern bis zu einem Durchmesser von 200 mm.

Erfüllungsort

Ort
Forschungszentrum Jülich
NUTS
DE

Verlauf

  1. 31.05.2019 Ergebnis veröffentlicht

Häufige Fragen

Wer hat den Auftrag bekommen?

Den Zuschlag hat Centrotherm Clean Solutions GmbH & Co KG erhalten, Summe 829.900 €.

Quellen Bekanntmachung auf TED ↗ Daten: TED – Tenders Electronic Daily, © Europäische Union, Weiterverwendung mit Quellenangabe. Namen und persönliche Kontaktdaten von Ansprechpersonen entfernen wir automatisch. Ist uns etwas entgangen? Fehler melden

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