Lieferung von 2 Purifierkabinette mit den dazugehörigen Purifierkartuschen

LOS 1 Purifierkabinet geeignet für den Einsatz an Epitaxieanlagen der Firma Applied Matireals für: Wasserstoff, 100 Liter/ min Stickstoff, 100 Liter/ min Chlorwasserstoff, 20 Liter/ min Größe maximal BxTxH 460 x 200 x 2000 mm Inklusive Endpunktüberwachung Inklusive Absperr-, Bypass- und Spülvorrichtung für die Pirifier NANOCHEM(R) SideCar-EP Purifier System von Matheson Tri-Gas oder vergleichbar 2 Stk LOS 2 Purifierkartuschen geeignet für die oben genannten Purifierkabinette in Los 1 2.1 Purifierkartusche für Wasserstoff, max 150 Liter/ min mit Endpunktüberwachung, Partikelfilter und Absperrventile A-2000-OMX-Plus-DCB-HF, NANOCHEM PFR, 2 L, OMX-Plus, 150 SLPM, BANNER DC EPD oder vergleichbar 2 Stk 2.2 Purifierkartusche für Stickstoff, max 150 Liter/ min mit Endpunktüberwachung, Partikelfilter und Absperrventile A-2000-OMX-Plus-DCB-HF, NANOCHEM PFR, 2 L, OMX-Plus, 150 SLPM, BANNER DC EPD oder vergleichbar 2 Stk 2.3 Purifierkartusche für Chlorwasserstoff, max 20 Liter/ min inklusive Partikelfilter und Absperrventile A-500-MTX , Nanochem PFR, 500ML, MTX , 50 SLPM, PTFE PF FOR HCL 2 Stk