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Zuschlag erteilt Offenes Verfahren (EU-weit) · veröffentlicht am 06.04.2021

Lieferung Mask Aligner für optische Fotolithografie und Nanoimprint-Lithografie

Auftraggeber: BTU Cottbus-Senftenberg · Cottbus

BTU Cottbus-Senftenberg hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik im Landkreis Oberspreewald-Lausitz am 26.06.2021 vergeben, Zuschlag an SUSS Microtec Lithography GmbH. Zuschlagssumme nach den Angaben der Bekanntmachung: 384.680 €. Eingegangen: 2 Angebote.

Zuschlag an

SUSS Microtec Lithography GmbH Garching b. München

Summe
384.680 €
Angebote
2
Zuschlag
26.06.2021

Quelle: Bekanntmachung auf TED (© Europäische Union), veröffentlicht am 13.08.2021.

Angaben in Kürze

Aus den Feldern, ohne KI
Was
Labor- und Messtechnik: Lieferung Mask Aligner für optische Fotolithografie und Nanoimprint-Lithografie
Wo
Landkreis Oberspreewald-Lausitz, Brandenburg
Wer kann anbieten
Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
Laufzeit
bis 31.12.2021

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 13.08.2021, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden

Leistungsumfang

Beschreibung laut Bekanntmachung

Mask Aligner für optische Fotolithografie und Nanoimprint-Lithografie Die Beschaffung eines Mask Aligners soll Lithographie für Strukturgrößen von ca. 1,0 Mikrometer, für ausgewählte Strukturen auch darunter, ermöglicht werden. Speziell für die Nanostrukturierung soll der Mask-Aligner zudem eine Option für Nanoimprint-Lithografie vorsehen. Um den Gebrauch von Quecksilberdampflampen zu vermeiden, soll hier eine LED-Lichtquelle zum Einsatz kommen. Weitere Informationen und Anforderungen entnehmen Sie bitte der Leistungsbeschreibung unter dem Punkt „Vergabeunterlagen“.

Erfüllungsort

Ort
nicht angegeben
Bundesland
Brandenburg
NUTS
DE40B

Verlauf

  1. 06.04.2021 Ausschreibung veröffentlicht
  2. 13.08.2021 Ergebnis veröffentlicht

Häufige Fragen

Wer hat den Auftrag bekommen?

Den Zuschlag hat SUSS Microtec Lithography GmbH erhalten, Summe 384.680 €.

Quellen Bekanntmachung auf TED ↗ Daten: TED – Tenders Electronic Daily, © Europäische Union, Weiterverwendung mit Quellenangabe. Namen und persönliche Kontaktdaten von Ansprechpersonen entfernen wir automatisch. Ist uns etwas entgangen? Fehler melden

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