Lieferung, Installation und Inbetriebnahmeeiner ICPECVD-Anlage
Auftraggeber: Forschungsverbund Berlin e.V. · Berlin
Forschungsverbund Berlin e.V. hat den Auftrag für Maschinen und Geräte am 17.06.2019 vergeben, Zuschlag an Oxford Instruments GmbH. Eingegangen: 3 Angebote.
Oxford Instruments GmbH Wiesbaden
- Summe
- nicht plausibel
- Angebote
- 3
- Zuschlag
- 17.06.2019
Quelle: Bekanntmachung auf TED (© Europäische Union), veröffentlicht am 18.07.2019.
Angaben in Kürze
Aus den Feldern, ohne KI- Was
- Maschinen und Geräte: Lieferung, Installation und Inbetriebnahmeeiner ICPECVD-Anlage
- Wo
- nicht angegeben
- Wer kann anbieten
- Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Laufzeit
- 11 Monate
Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 18.07.2019, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden
Leistungsumfang
Beschreibung laut BekanntmachungZur Abscheidung dünner dielektrischer Schichten soll im Rahmen eines BMBF-Projekts eine moderne und flexible Beschichtungsanlage beschafft werden zur Herstellung von SiNx- und SiOy- Dielektrika. Mittelpunkt der Beschaffung ist eine Plasma CVD Anlage mit dem Ziel, qualitativ hochwertige SiNx Dielektrika mit Durchbruchfeldstärken von > 8 MV/cm abzuscheiden. (entspricht ca. 80 V Durchbruchspannung bei einer Dielektrikumsdicke von 100 nm).
Erfüllungsort
- Ort
- nicht angegeben
- NUTS
- DE
Verlauf
- 22.01.2019 Ausschreibung veröffentlicht
- 18.07.2019 Ergebnis veröffentlicht
Häufige Fragen
Wer hat den Auftrag bekommen?
Den Zuschlag hat Oxford Instruments GmbH erhalten.
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