Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von Digestorien

Die UniBw M führt innerhalb des "Centers for Integrated Sensor Systems (SENS)" das Pilotprojekt "VITAL-SENSE" durch. In dem Projekt verfolgt die UniBw M das Ziel, Basiskompetenzen (Hardware und Software) zur technischen Realisierung und zum Test von integrierten Sensorsystemen für das Monitoring von Vitalfunktionen bereitzustellen. Der interdisziplinäre Ansatz von VITAL-Sense hat Applikationen aus unterschiedlichen Bereichen wie zum Beispiel Monitoring von Stress, Müdigkeitserscheinungen und akuten Zuständen zum Gegenstand. Innerhalb des Projekts VITAL-SENSE strebt die UniBw M an, Lösungen für mobile, chemische und biologische Sensoren mit Fokus auf 2D Schichten bzw. Nanoschichten zu entwickeln, die sowohl die Atemluft als auch Körperflüssigkeiten analysieren können. Neben schon existierenden kommerziellen Sensoren für Vitalfunktionen kann die UniBw M so ein sehr differenziertes Bild des Zustands des Probanden ermitteln. Für das Projekt VITAL-SENSE benötigt die UniBw M Digestorien für Test- und Forschungszwecke im Großraum München. Innerhalb des Projekts wird die UniBw M nasschemische Prozesse durchführen, wobei es sich um die nasschemische Reinigung sowie um die Strukturierung von Siliziumwafern handeln kann. Die Digestorien müssen die hohen Reinheitsanforderungen der Halbleitertechnologie erfüllen. Die UniBw M benötigt insgesamt 4 Digestorien: Ein Lithographie-/HMDS-, ein RCA-, ein Umluft- und ein BOE-/TMAH-Digestorium. Der obsiegende Bieter übernimmt eine Garantie für die Funktionsfähigkeit und Beschaffenheit der Digestorien für eine Dauer von 24 Monaten ab Abnahme der Lieferleistungen. Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung.