Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von Belichter für die Halbleitertechnologie - Mask Aligner

Die Universität der Bundeswehr München (UniBw M) wurde 1973 auf Bestreben des damaligen Bundesministers der Verteidigung, Helmut Schmidt, unter dem Namen "Hochschule der Bundeswehr München" gegründet. Sie ist eine von zwei Universitä-ten, die die Bundeswehr zur Ausbildung ihrer Offiziersanwärter und jungen Offiziere hat. Die Universität gehört zum zivilen Organisationsbereich Personal und ist dem Bundesministerium der Verteidigung zugeordnet. Die UniBw M hat am 11.08.2020 ein neues "Zentrum für Digitalisierung- und Techno-logieforschung der Bundeswehr" (kurz DTEC.Bw) gegründet. DTEC.Bw ist Bestand-teil des Konjunkturprogramms der Bundesregierung zur Überwindung der COVID-19 Krise und wird über das Bundesministerium der Verteidigung (BMVg) mit Forschungsmitteln aus dem Konjunkturprogramm ausgestattet. Die Universität der Bundeswehr in München plant im Rahmen des DTEC Projekts die Beschaffung eines Mask Aligners zur Belichtung von Siliziumwafern. Die Flexibilität des Gerätes und die erzielbaren Ergebnisse sind wesentlich. Für das Projekt beabsichtigt die UniBw M, im Rahmen dieses Vergabeverfahrens ei-nen Mask Aligner zu beschaffen. Für das Projekt VITAL-SENSE benötigt die UniBw M einen Mask Aligner um Siliziumwafer zu belichten. Im Bereich der Halbleitertechnologie spielt die sogenannte Lithographie eine entscheidende Rolle. Um fertige Bauelemente herzustellen werden hohe Ansprüche in Sachen Reproduzierbarkeit und Qualität der Ergebnisse gestellt. Der Mask Aligner muss die hohen Reinheitsanforderungen, die Genauigkeit der Justage, Auflösung und Homogenität der Halbleitertechnologie erfüllen. Auftragsgegenstand ist die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme von Belichter für die Halbleitertechnologie - Mask Aligner. Im Rahmen der Inbetrieb-nahme muss der Auftragnehmer das Personal der UniBw M in den Betrieb des Mask Aligners einführen. Die UniBw M benötigt 1 Belichter/ Mask Aligner, welcher 4", 6" und 8" Wafer bearbei-ten kann. Die UniBw M hat für die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme des Mask Aligners insgesamt ein Budget von maximal EUR 428.155,00 (netto) zur Verfügung. Die UniBw M behält sich vor, Angebote, die diesen Kostenrahmen überschreiten, vom Verfahren auszuschließen sowie das Verfahren aufzuheben, sollten ausschließlich Angebote oberhalb des Kostenrahmens eingehen. Der obsiegende Bieter muss den Mask Aligner spätestens bis zum 15.03.2023 liefern, installieren und in Betrieb nehmen. Der obsiegende Bieter muss eine Garantie für die Funktionsfähigkeit und Beschaffenheit des Mask Aligners für eine Dauer von 24 Mo-naten ab Abnahme übernehmen. Einzelheiten ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung (Anlage 1 zum Liefervertrag, Anlage 2).