Lieferung einer teilautonomen kombinatorischen Sput-teranlage

Bei der zu beschaffenden Anlage handelt es sich um eine hochkomplexe kombinatorische Sputteranlage, die eine teilautonome Herstellung von Dünnschicht-Materialbibliotheken er- möglichen soll. Teilautonom bedeutet hier, dass 1. die Anlage bis zu 10 Materialbibliotheken ohne Nutzerinteraktion herstellen kann und 2. die Anlage über eine Schnittstelle verfügen muss, über die die automatisierte Interaktion mit der Software des Systemherstellers gewährleistet ist. Die Anlage soll für den Forschungsbetrieb konzipiert werden, einfache Zugänglichkeit (für Targetwechsel und Reinigung) ist wichtig, und Flexibilität für zukünftige Änderungen (Zusatzflansche und zusätzliche A/D-Kanäle für Erweiterungen der Instrumentierung) wird gefordert. Die zu beschaffende Anlage darf kein Prototyp sein, sondern die anbietende Firma muss nachweisen, dass sie bereits mindestens 10 direkt vergleichbare Systeme verkauft hat. Es muss auch eine Zeichnung bzw. ein Foto von dem System zur Verfügung gestellt werden.