Lichtmikroskopie IZHH

Lieferung eines Lichtmikroskops für das Innovationszentrum Hamburg einschließlich Ab- und Inbetriebnahme, Schulung, Service und Wartung. Zur Qualifikation und Kontrolle verschiedener Prozesse (z.B. photolithographische Strukturierung von Lacken, nasschemische oder trockene Ätzprozesse, Polierprozesse, …) wird die Lichtmikroskopie benötigt. Neben der Untersuchung auf Auffälligkeiten wie Defekte und Partikel auf den Substraten sind insbesondere die Vermessung lateraler Dimensionen und das Sichtbarmachen topographischer Unterschiede (z.B. Kratzer) die wichtigsten lichtmikroskopischen Verfahren. Die Automatisierung des Lichtmikroskops ermöglicht einen höheren Durchsatz und bedienerunabhängige Ergebnisse.