Kryo-Sondenstation IZHH

Im Rahmen der Quantencomputing-Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien benötigt. Hierzu werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Für die Bewertung der Prozesse werden verschiedene Verfahren der Metrologie benötigt. Zur Charakterisierung und Beurteilung der hergestellten Bauteile ist eine elektrische Charakterisierung bei tiefkalten Temperaturen notwendig. Die Messungen sollen in einer Kryo-Sondenstation stattfinden, bei der die Probe in einer Vakuumkammer auf Kryo-Temperatur heruntergekühlt und mit elektrischen Sonden kontaktiert wird. Gleichstrommessungen sowie RF-Messungen sind von der Sondenstation zu unterstützen. Aufgabe der Kryo-Sondenstation ist die Kühlung sowie Kontaktierung der Probe, die Messung selbst wird durch andere Geräte durchgeführt, die nicht Teil der Ausschreibung sind. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom Auftraggeber separat bereitgestellt. Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung, Einbringung der Anlage in die Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme, Inbetriebnahme und Schulung gemäß Spezifikation. Darüber hinaus sind Service- und Wartungsleistungen zu erbringen.