Konfokalmikroskopie IZHH

Im Rahmen der Quantencomputing Initiative des DLR werden in einem Reinraum am Innovationszentrum Hamburg Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien beschafft. Hierzu gehören auch Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Zur Qualifikation und Kontrolle verschiedener Prozesse werden Verfahren zur Charakterisierung der 3D Geometrie von Mikrostrukturen benötigt, wie sie neben der mikroskopischen Abbildung insbesondere durch ein Konfokalmikroskop mit integriertem Weißlichtinterferometer ermöglicht werden. Der Auftragnehmer schuldet die Lieferung (DAP) des Konfokalmikroskops zu den Laborräumlichkeiten des Auftraggebers, Abnahme/Inbetriebnahme und Schulung gemäß Spezifikation. Darüber hinaus sind Service- und Wartungsleistungen zu erbringen. Weitergehende Informationen sind der den Vergabeunterlagen beigefügten Leistungsbeschreibung zu entnehmen.