Kombiniertes hochauflösendes Feldemissions-Rasterelektronen- und Raman- Mikroskop

1.1. Feldfreies Feldemitter-Rasterelektronenmikroskop (FE-REM) mit integriertem RAMAN System 1.2. Spannungsversorgung für das Gerät im Deutschen Netz mit folgenden Werten (230 V; 50 Hz; Absicherung 16 A) 1.3. variable Beschleunigungsspannung, 0.1 – 30 keV 1.4. Erreichbare Auflösung < 1 nm (15 kV) 1.5. Probenstrom-Bereich (Beam/Probe- current) von mindestens 5 pA bis 300 nA oder mehr 1.6. Beam Deceleration (BD) Modus 1.7. Betriebsarten Hochvakuumbetrieb und Niedervakuumbetrieb 1.8. Pumpensystem ölfrei 1.9. Vollständige Pumpenperipherie (Umlaufkühler falls nötig, Schläuche, Verteiler / Vorpumpensysteme im Nebenraum unterzubringen ca. 6 m vom Mikroskop entfernt) 1.10. Niedervakuum-SE-Detektor 1.11. Hochvakuum-SE-Detektor (Everhart-Thornley-Detektor) 1.12. In der Linse/Säule integrierte SE und BSE Detektoren in verschiedenen Ebenen 1.13. Gesteuerter, pneumatisch oder elektrisch rückziehbarer BSE-Detektor unter der Linse (Arbeitsbereich auch im Niedervakuumbetrieb) 1.14. EDX-Analyse mit stickstofffreiem Detektor, standardfreie und standardbezogene Analyse, (Z>5) 1.15. STEM / TE-System rückziehbar, simultane Darstellung im Hell- und/oder Dunkelfeld (BF/DF/HADF) 1.16. Integrierter Plasmacleaner 1.17. 5-achsiger (XYZ, R und Tilt) Probentisch mit motorisierter Probenbühne (X-/Y-Achsen mindestens 110 mm Verfahrweg; Z-Achse mindestens 60 mm Verfahrweg; Rotation, stufenlose 360° Rotation; Kippung (Neigung / Tilt) von mindestens -5° bis +90°) 1.18. Probengewicht von mindestens 1 kg bei einer Kippung / Tilt von 70° 1.19. Probengröße von mindestens 100 mm Durchmesser und mindestens 60mm Höhe verfahr- rotier- und kippbar (mindestens 45°, im analytischen Arbeitsabstand) 1.20. Integriertes optisches Beobachtungssystem zur Beobachtung der Proben in die Kammer (IR-Kamera zur Navigation) 1.21. Minimale Bildbreite (Sichtfeld) bei 10 mm Arbeitsabstand von 2,5 mm 1.22. Bedienpult (Drehknöpfe und Funktionstasten / “control panel“ / Konsole) 1.23. Vollständige Software zum Betrieb des Feldemitter-Rasterelektronenmikroskops 1.24. Vollständiges Softwarepaket zur Bildbearbeitung (Vermessung, Einfärbung, Stitching) und Speicherung der Bilder in den Formaten (.tif, .png, bmp, .jpeg, .gif) und weitere Eigenschaften gemäß Ausschreibungsunterlagen. Eigenschaften des integrierten Raman-Systems: 2.1. Hoch-Präzise piezoelektrische laterale und axiale Bildgebung mit 250 x 250 x 250 μm Verfahrweg für beugungsbegrenzte Abbildung der Probenoberfläche 2.2. Köhler-Weißlichtbeleuchtung 2.3. Digitalkamera System für Hochauflösende RGB Bilder 2.4. Signal Stabilisation (für Langzeit Signal- und Fokusstabilisation) 2.5. Focus Stacking (erweiterte Fokustiefe wir Weißlichtaufnahmen) 2.6. Hohe Stabilität des konfokalen Messaufbaus während der kompletten Lebensdauer des Systems durch flexible und gleichzeitig robuste Kopplung der System-Komponenten (Faserkopplung) und weitere Eigenschaften gemäß Ausschreibungsunterlagen.