IZHH Laborausrüstung | PECVD

Das Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz (BMWK) hat dem DLR Mittel zur Verfügung gestellt, um deutsche Quantencomputer zu entwickeln und das damit verbundene ökonomische Umfeld aufzubauen. Die Quantencomputing Initiative des DLR bündelt die vorhandenen anwendungsnahen Kompetenzen im Quantencomputing und baut zusammen mit Partnern aus der Wirtschaft eine industrielle Basis auf. Die Initiative wird Hardware, Software, Anwendungen und die notwendige Zulieferkette entwickeln. Es werden unterschiedlichen Technologien zum Bau eines Quantencomputers als komplementäre Ansätze verfolgt. Deutschlandweit werden Industriepartner, Start-ups und Forschungsgruppen eingebunden und die Gründerszene in der Quantentechnologie aktiviert. Die Initiative etabliert zwei Innovationszentren in Hamburg und Ulm um Industrie, Forschung und AnwenderInnen unter einem Dach zusammen zu bringen. Im Innovationszentrum Hamburg werden in einem vom DLR zur Verfügung gestellten Reinraum Quantencomputer mit der Ionenfallen-Technologie in Zusammenarbeit von Industrie und DLR gebaut. Für die Ausstattung des neuen Reinraums wird ein spezifischer Maschinenpark zur Herstellung, Bearbeitung und Integration von Ionenfallenchips und verwandten Quantentechnologien beschafft. Im Rahmen dieser Ausschreibung werden Anlagen für eine klassische Mikrostrukturierungsprozesskette für den Reinraum beschafft. Teil der Prozesskette sind die Abscheidung und Strukturierung metallischer, dielektrischer und Halbleiter-Dünnschichten auf Substraten mit einem maximalen Durchmesser von 150 mm. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierten Anlagen, die dafür benötigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Für die Abscheidung dielektrischer Schichten wird eine Anlage zur plasmaunterstützen chemischen Gasphasenabscheidung (plasma-enhanced chemical vapor deposition PECVD) benötigt. Mit diesem Verfahren sollen amorphe SiO2, SiNx, Si und SiC Schichten auf 150 mm Wafern abgeschieden werden. Weitere Details sind der Anlage 01 Leistungsbeschreibung der Vergabeunterlagen zu entnehmen.