Ion Beam Etching Tool
Auftraggeber: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe · München
Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.… hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in Duisburg am 11.04.2019 vergeben, Zuschlag an scia Systems GmbH. Eingegangen: 2 Angebote.
scia Systems GmbH Chemnitz
- Summe
- nicht plausibel
- Angebote
- 2
- Zuschlag
- 11.04.2019
Quelle: Bekanntmachung auf TED (© Europäische Union), veröffentlicht am 15.04.2019.
Angaben in Kürze
Aus den Feldern, ohne KI- Was
- Maschinen und Geräte: Ion Beam Etching Tool
- Wo
- Duisburg, Nordrhein-Westfalen
- Wer kann anbieten
- Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Laufzeit
- 5 Monate
Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 15.04.2019, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden
Leistungsumfang
Beschreibung laut BekanntmachungThe Fraunhofer IMS requires a new Ion Beam Etching Tool (IBE Tool). In this IBE Tool 8” (200 mm) wafers can be etched according to the specifications in the specifications. The IBE-Tool is used for sputter etching under different ion beam incidence angles and is equipped with the technical requirements for an automatized endpoint detection during etch processes.
Erfüllungsort
- Ort
- 47057 Duisburg
- Kreis
- Duisburg
- Bundesland
- Nordrhein-Westfalen
- NUTS
- DEA12
Verlauf
- 09.11.2018 Ausschreibung veröffentlicht
- 15.04.2019 Ergebnis veröffentlicht
Häufige Fragen
Wer hat den Auftrag bekommen?
Den Zuschlag hat scia Systems GmbH erhalten.
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