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Zuschlag erteilt Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (EU-weit) · veröffentlicht am 09.03.2022

IMS Chips - Europaweite Vergabe eines Rasterelektronenmikroskops zur automatischen Inline-Messung von kritischen Dimensionen (CD-SEM) auf Wafern mit Lack- bzw. geätzten Strukturen

Auftraggeber: Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts · Stuttgart

Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen… hat den Auftrag für Maschinen und Geräte in Stuttgart am 18.07.2022 vergeben, Zuschlag an Hitachi High-Tech Europe GmbH. Eingegangen: 2 Angebote.

Zuschlag an

Hitachi High-Tech Europe GmbH Krefeld

Summe
nicht plausibel
Angebote
2
Zuschlag
18.07.2022

Quelle: Bekanntmachung auf TED (© Europäische Union), veröffentlicht am 05.09.2022.

Angaben in Kürze

Aus den Feldern, ohne KI
Was
Maschinen und Geräte: IMS Chips - Europaweite Vergabe eines Rasterelektronenmikroskops zur automatischen Inline-Messung von kritischen Dimensionen (CD-SEM) auf Wafern mit Lack- bzw. geätzten Strukturen
Wo
Stuttgart, Baden-Württemberg
Wer kann anbieten
Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
Laufzeit
bis 30.06.2023

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 05.09.2022, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden

Leistungsumfang

Beschreibung laut Bekanntmachung

Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Beschaffung eines Rasterelektro-nenmikroskops zur automatischen Inline-Messung von kritischen Dimensionen (Critical Di-mension Scanning Electron Microscope, CD-SEM) auf Wafern mit Lack- bzw. geätzten Strukturen zwischen 50 nm und 2 µm auf 150 mm und 200 mm Wafern.

Erfüllungsort

Ort
nicht angegeben
Kreis
Stuttgart
NUTS
DE111

Verlauf

  1. 09.03.2022 Ausschreibung veröffentlicht
  2. 05.09.2022 Ergebnis veröffentlicht

Häufige Fragen

Wer hat den Auftrag bekommen?

Den Zuschlag hat Hitachi High-Tech Europe GmbH erhalten.

Quellen Bekanntmachung auf TED ↗ Daten: TED – Tenders Electronic Daily, © Europäische Union, Weiterverwendung mit Quellenangabe. Namen und persönliche Kontaktdaten von Ansprechpersonen entfernen wir automatisch. Ist uns etwas entgangen? Fehler melden

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