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Zuschlag erteilt Nur 1 Angebot Offenes Verfahren (EU-weit) · veröffentlicht am 13.04.2022

Hochleistungs-ICP-Ätzanlage

Auftraggeber: Universität Paderborn · Paderborn

Universität Paderborn hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik im Kreis Paderborn am 16.05.2022 vergeben, Zuschlag an Oxford Instruments GmbH. Zuschlagssumme nach den Angaben der Bekanntmachung: 467.487 €. Eingegangen: 1 Angebot.

Zuschlag an

Oxford Instruments GmbH Wiesbaden

Summe
467.487 €
Angebote
1 Nur 1 Angebot
Zuschlag
16.05.2022

Quelle: Bekanntmachung auf TED (© Europäische Union), veröffentlicht am 20.05.2022.

Angaben in Kürze

Aus den Feldern, ohne KI
Was
Labor- und Messtechnik: Hochleistungs-ICP-Ätzanlage
Wo
Kreis Paderborn, Nordrhein-Westfalen
Wer kann anbieten
Jedes Unternehmen, das die Anforderungen der Vergabeunterlagen erfüllt.
Laufzeit
12 Monate

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 20.05.2022, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden

Leistungsumfang

Beschreibung laut Bekanntmachung

Die ICP-Ätzanlage stellt das Kernstück der waferprozessierenden Infrastruktur dar und wird im Reinraum der Universität Paderborn aufgestellt. Eine Entwicklung von waferskaligen Bauelementen stellt große Anforderungen an die Wafergröße (bis zu 2"), die Strukturgröße und die Strukturhomogenitäten. Die verwendeten optische Bauelemente basieren auf Wellenleiterstrukturen, die eine extrem hohe Anforderung an die Strukturhomogenität stellen. Es sollen Rippenwellenleiter über eine Länge von mehreren Millimetern mit einer hohen Homogenität geätzt werden.

Erfüllungsort

Ort
nicht angegeben
NUTS
DEA47

Verlauf

  1. 13.04.2022 Ausschreibung veröffentlicht
  2. 20.05.2022 Ergebnis veröffentlicht

Häufige Fragen

Wer hat den Auftrag bekommen?

Den Zuschlag hat Oxford Instruments GmbH erhalten, Summe 467.487 €.

Quellen Bekanntmachung auf TED ↗ Daten: TED – Tenders Electronic Daily, © Europäische Union, Weiterverwendung mit Quellenangabe. Namen und persönliche Kontaktdaten von Ansprechpersonen entfernen wir automatisch. Ist uns etwas entgangen? Fehler melden

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