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Abgelaufen Teilnahmewettbewerb Verhandlungsverfahren mit Teilnahmewettbewerb (national) · veröffentlicht am 09.06.2018

Gasphasenzersetzungsanlage und Massenspektrometer mit induktiv gekoppeltem Plasma

Auftraggeber: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Frankfurt (Oder)

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik hat einen Auftrag für Labor- und Messtechnik in Frankfurt (Oder) ausgeschrieben. Teilnahmeanträge waren bis 10.07.2018 möglich. Bisher kein Ergebnis gefunden.

Teilnahmeanträge waren bis 10.07.2018, 12:00 Uhr möglich. Frist abgelaufen

Wir haben bisher kein Ergebnis zu diesem Verfahren gefunden. Bei nationalen Verfahren wird es oft gar nicht oder ohne Bezug zur Ausschreibung veröffentlicht. Auskunft gibt die Vergabestelle.

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Angaben in Kürze

Aus den Feldern, ohne KI
Was
Labor- und Messtechnik: Gasphasenzersetzungsanlage und Massenspektrometer mit induktiv gekoppeltem Plasma
Wo
Frankfurt (Oder), Brandenburg
Bis wann
Teilnahmeantrag bis 10.07.2018, 12:00 Uhr
Wer kann anbieten
Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
Laufzeit
1 Monat
Lose
2 Lose, einzeln anzubieten laut Bekanntmachung

Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 09.06.2018, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden

Leistungsumfang

Beschreibung laut Bekanntmachung

Massenspektrometer mit induktiv gekoppeltem Plasma. Für ein hochauflösendes Magnetsektorfeld-Massenspektrometer mit induktiv gekoppelter Plasmaionenquelle (HR-ICPMS), das bei der IHP GmbH für automatisierte Verunreinigungsanalyse von Halbleiterproben installiert werden soll. Im HR-ICPMS werden flüssige Proben, kommend von einer Gasphasenzersetzungsanlage, analysiert. Gasphasenzersetzungsanlage. 1) Ätzmodul zum einseitigen Ätzen des Oxids auf der Si Scheibenoberfläche 2) Scanmodul zum Aufsammeln und Abnehmen der Kontaminationen von der Si Scheibenoberfläche 3) Roboter zum Transport der Si Scheiben von den Kassetten zu den Prozessmodulen und zurück 4) Kassetten Station für 2 offene Si Scheiben Kassetten 5) Rahmen zur partikelfreien Einhausung der Module

2 Lose

LosBezeichnung laut BekanntmachungWert, geschätzt
1 Gasphasenzersetzungsanlage nicht angegeben
2 Massenspektrometer mit induktiv gekoppeltem Plasma nicht angegeben

Erfüllungsort

Ort
nicht angegeben
Bundesland
Brandenburg
NUTS
DE403

Verlauf

  1. 09.06.2018 Ausschreibung veröffentlicht
Quellen Bekanntmachung auf TED ↗ Vergabeunterlagen auf vergabemarktplatz.brandenburg.de ↗ Daten: TED – Tenders Electronic Daily, © Europäische Union, Weiterverwendung mit Quellenangabe. Namen und persönliche Kontaktdaten von Ansprechpersonen entfernen wir automatisch. Ist uns etwas entgangen? Fehler melden

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