Gasphasenzersetzungsanlage und Massenspektrometer mit induktiv gekoppeltem Plasma
Auftraggeber: IHP GmbH · Frankfurt (oder)
IHP GmbH hat den Auftrag für Labor- und Messtechnik in Frankfurt (Oder) am 06.12.2018 vergeben, Zuschlag an PVA Metrology & Plasma Solutions GmbH und Thermo Fisher Scientific GmbH. Zuschlagssumme nach den Angaben der Bekanntmachung: 935.000 €. Eingegangen: 1 Angebote je Los.
- Summe
- 935.000 €
- Angebote
- 1 je Los Nur 1 Angebot
- Zuschlag
- 06.12.2018
Quelle: Bekanntmachung auf TED (© Europäische Union), veröffentlicht am 13.02.2019.
Angaben in Kürze
Aus den Feldern, ohne KI- Was
- Labor- und Messtechnik: Gasphasenzersetzungsanlage und Massenspektrometer mit induktiv gekoppeltem Plasma
- Wo
- Frankfurt (Oder), Brandenburg
- Wer kann anbieten
- Zuerst Teilnahmeantrag, danach geben nur ausgewählte Bewerber ein Angebot ab.
- Lose
- 2 Lose, einzeln anzubieten laut Bekanntmachung
Automatisch aus den Feldern der Bekanntmachung vom 13.02.2019, ohne KI. Die Branche ordnen wir selbst zu. Maßgeblich ist die Bekanntmachung. Original lesen ↗ · Fehler melden
Leistungsumfang
Beschreibung laut BekanntmachungMassenspektrometer mit induktiv gekoppeltem Plasma. Für ein hochauflösendes Magnetsektorfeld-Massenspektrometer mit induktiv gekoppelter Plasmaionenquelle (HR-ICPMS), das bei der IHP GmbH für automatisierte Verunreinigungsanalyse von Halbleiterproben installiert werden soll. Im HR-ICPMS werden flüssige Proben, kommend von einer Gasphasenzersetzungsanlage, analysiert. Gasphasenzersetzungsanlage. 1) Ätzmodul zum einseitigen Ätzen des Oxids auf der Si Scheibenoberfläche; 2) Scanmodul zum Aufsammeln und Abnehmen der Kontaminationen von der Si Scheibenoberfläche; 3) Roboter zum Transport der Si Scheiben von den Kassetten zu den Prozessmodulen und zurück; 4) Kassetten Station für 2 offene Si Scheiben Kassetten; 5) Rahmen zur partikelfreien Einhausung der Module.
2 Lose
Erfüllungsort
- Ort
- nicht angegeben
- Kreis
- Frankfurt (Oder)
- Bundesland
- Brandenburg
- NUTS
- DE403
Verlauf
- 13.02.2019 Ergebnis veröffentlicht
Häufige Fragen
Wer hat den Auftrag bekommen?
Den Zuschlag hat PVA Metrology & Plasma Solutions GmbH und Thermo Fisher Scientific GmbH erhalten, Summe 935.000 €.
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