Fraunhofer-ISE Freiburg – Neubau G Forschungsgebäude ZhS – V_035_755907_37 Gasversorgung

Reinstgaseversorgung Bulkgase Ar- Prozessgaseversorgung, Qualität 6.0 mit Doppelentnahmestation und Verteilnetz H2 – Prozessgaseversorgung, Qualität 6.0 mit Doppelentnahmestation und Verteilnetz N2 – Verteilnetz, Qualität 6.0 N2/H2 (95/5), Qualität 4.0 mit Doppelentnahmestation und Verteilnetz O2 – Prozessgasversorgung, Qualität 6.0 mit Doppelentnahmestation und Verteilnetz O2 – Prozessgasversorgung, Qualität 2.5. mit Doppelentnahmestation und Verteilnetz Sondergase B2H6 in H2 (1/99), Qualität 60 mit Entnahmestation im Gaskabinett Ch4, Qualität 5.5, Entnahmestation im Kabinett He-Hochdruck, Qualität 6.0 N2O, Qualität 5.5, Entnahmestation im Kabinett NF3, Qualität 4.0, Entnahmestation im Kabinett NH3, Qualität 5.5, Entnahmestation im Kabinett Ph3 in H2 (1/99), Qualität 6.0, Entnahmestation im Kabinett SF6, Qualität 4.5, Entnahmestation im Kabinett SiH4, Qualität 6.0, Entnahmestation im Kabinett + EMSR, Steuerung, Gaswarntechnik