Fraunhofer IOF — E_066_249241— 3-Achsen-Positioniersystem für Lithographieanlage

Das Fraunhofer Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik plant die Beschaffung zweier identischer 3-Achs-Positioniersysteme (im weiteren Kontext wird von der Einzahl gesprochen), die auf die anspruchsvollen Anforderungen für Lithographie auf vergleichsweise großen Flächen ausgelegt sind. Die Systeme sollen mit Fotolack beschichtete Substrate sehr präzise zu einem vom IOF spezifizierten Schreibkopf positionieren. In den Schreibkopf sollen zwei weitere Aktuatoren verbaut werden, die zwingend mit derselben Schnittstelle aber durchaus unterschiedlichen Instanzen angesteuert werden können. Im Speziellen handelt es sich hierbei um einen Piezoantrieb für eine Autofokusanwendung als auch eine miniaturisierte Drehachse für Mikrojustage im kleinen Winkelbereich. Das System soll in minimaler Zeit immer wieder Positionen anfahren und die Position sehr präzise halten (step and repeat) bis der einzelne Belichtungsschritt abgeschlossen ist. Bei Mehrfachüberfahren der kompletten Fläche (multipa