Focused Ion Beam System zur Präparation von Querschnitten und TEM Lamellen

Im Campfire Verbundvorhaben werden innerhalb mehrerer gegenwärtiger und zukünftiger Projekte mehrschichtige elektrochemische Zellen synthetisiert und untersucht. Von besonderer Bedeutung für die Analytik sind gezielte Probenquerschnitte und TEM (Transmissionselektronenmikroskopie) Präparate, da diese die Qualität der Analyse wesentlich verbessern. Synthese und Materialeigenschaften werden damit nach besten Standard evaluiert, wodurch der Wert von wissenschaftlichen und technische Ergebnissen deutlich gesteigert werden kann. Ein FIB (Focused Ion Beam) ist eine Technik zur Materialbearbeitung auf mikroskopischer Ebene. Das Material wird dabei auf einer Seite der Schnittfläche mit einem Ionenstrahl abgetragen, sodass anschließend ein Blick schräg auf die Schnittfläche möglich ist. Der Vorteil der des FIB System ist, dass die Schnittflache mit submikrometer Genauigkeit positioniert werden kann, sodass auch kleinste Strukturen im Querschnitt darstellbar sind. Darüber hinaus kann man sich mi